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夏洋 中國科學院微電子研究所 研究員
長期專注于集成電路技術(shù)及裝備研究,為微電子所儀器設(shè)備研發(fā)中心創(chuàng)始人,帶領(lǐng)研究團隊瞄準國家戰(zhàn)略需求,突破了多項關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅克難,在多項國家重大科技計劃項目中承擔微電子儀器設(shè)備的研發(fā)工作,成功開發(fā)出原子層沉積系統(tǒng)、浸沒式等離子注入機、電感耦合等離子體刻蝕機、365納米i線曝光機等集成電路裝備,同時研發(fā)出原創(chuàng)變電場原子層沉積、吸附反應外延等裝備,實現(xiàn)了我國集成電路高端設(shè)備的重大突破。研發(fā)的儀器設(shè)備在國內(nèi)外科研單位銷售超千臺,有力的支撐了中科院、北京大學、清華大學等百余家高校院所的前沿科學研究,同時通過核心技術(shù)支持和促進了我國多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師,他為了能讓學生更直觀的了解和掌握微電子儀器操作方法,配套專業(yè)課程專門研發(fā)了集成電路系列科教融合設(shè)備,采用創(chuàng)新的“講授+實驗”教學模式,為集成電路工藝技術(shù)培養(yǎng)了大量的工程性專業(yè)人才。
他從探索、實踐、認識再實踐中不斷汲取創(chuàng)新的動力,“盡精微,集廣成,將國產(chǎn)儀器扎根祖國大地”是他的誓言,也是他永遠為之奮斗的理想!
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