
? ? ?蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所微納加工技術(shù)創(chuàng)新團隊? ? ? ? ? 團隊負(fù)責(zé)人:曾中明? ? 研究員
聚焦微納加工技術(shù),建成并運營了國內(nèi)規(guī)模最大的、開放程度最高、工藝能力領(lǐng)先、最具特色的納米技術(shù)公共服務(wù)平臺,是蘇州納米所在半導(dǎo)體微納加工領(lǐng)域的靚麗名片。
在技術(shù)創(chuàng)新方面,團隊承擔(dān)了一批以國家重點研發(fā)計劃為代表的重大項目,率先研制出基于相干布居數(shù)囚禁原理的低功耗芯片級原子鐘物理系統(tǒng),實現(xiàn)了在深海探測等重要領(lǐng)域的應(yīng)用;突破磁存儲材料和器件微納加工新工藝,開發(fā)出高性能反鐵磁存儲器原型器件,相關(guān)成果發(fā)表在國際知名期刊Nature上。此外,還開發(fā)多項特色微納加工技術(shù),有力支撐了100余項國家重大科研任務(wù)攻關(guān)。
在開放服務(wù)方面,團隊每年支撐數(shù)百家高校、科研院所和企業(yè)進行科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā),推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)增加產(chǎn)值數(shù)十億元。自2011年起,連續(xù)13年承辦蘇州工業(yè)園區(qū)高技能人才職業(yè)技能競賽,培養(yǎng)半導(dǎo)體高端技能人才數(shù)百名,榮獲中國科學(xué)院首屆職工技能大賽優(yōu)秀組織獎,為新一代信息科技發(fā)展輸送了大量高技能人才。
秉持“以匠心鑄就卓越,以創(chuàng)新驅(qū)動未來,以開放服務(wù)國家,以科技支撐發(fā)展”的理念,團隊成員累計榮獲“全國五一勞動獎?wù)隆薄爸袊茖W(xué)院關(guān)鍵技術(shù)人才”“江蘇省絕技絕活”等各級榮譽稱號50余人次。
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