
? ? ?北京中科科儀股份有限公司重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊? ? 團隊負責(zé)人:王利偉? ? 總經(jīng)理助理
深耕真空技術(shù)領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新突破,聚力攻關(guān)重大裝備核心零部件高效產(chǎn)業(yè)化,形成的分子泵系列產(chǎn)品,在集成電路、光伏新能源、航空航天、科學(xué)分析儀器等行業(yè)廣泛應(yīng)用,為推動國家產(chǎn)業(yè)升級、提升國家科技實力水平做出重要貢獻??萍汲晒a(chǎn)業(yè)化是創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展的關(guān)鍵,團隊逐步建立流程制度標(biāo)準化、設(shè)備配套高效化、制造團隊專業(yè)化的生產(chǎn)體系,致力于研制滿足國家重大戰(zhàn)略需求、具有市場競爭力的關(guān)鍵產(chǎn)品,解決國家關(guān)鍵核心技術(shù)“卡脖子”問題。
該團隊順利完成“磁浮分子泵系列產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目,亮相國家“十一五”重大科技成果展,在工業(yè)領(lǐng)域取得廣泛應(yīng)用,助力我國前沿科學(xué)研究和高端裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展。實現(xiàn)了磁懸浮分子泵在光伏、鋰電等新能源行業(yè)大批量應(yīng)用,全面推動新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展;推進半導(dǎo)體專用磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化落地,打破國外分子泵對碳化硅行業(yè)的壟斷,快速滿足第三代半導(dǎo)體碳化硅行業(yè)設(shè)備對專用分子泵的需求,并實現(xiàn)在刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導(dǎo)體前道工藝關(guān)鍵裝備上的應(yīng)用,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備核心部件國產(chǎn)化發(fā)展做出貢獻。
歷經(jīng)六十余年的傳承與積累,中科科儀重大裝備核心零部件產(chǎn)業(yè)化團隊深刻領(lǐng)悟老一輩科學(xué)家胸懷祖國,無私奉獻的精神,堅持精益求精、追求卓越的工匠精神,專注科技成果轉(zhuǎn)化,守初心,擔(dān)使命,為高端裝備精密智造注入新動能。
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