
微電子研究所微納器件制造技術團隊組建始于上世紀70年代,老中青三代團隊成員全程參與了我國近20個集成電路加工技術代攻關歷程。近10多年來,在02專項、國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學基金、中國科學院重大裝備等項目課題持續(xù)資助下,構建了多元化襯基、多功能、納米精度和大面積的微納器件制造成套技術體系,國際上首次實驗證實自由空間渦旋嬗變規(guī)則,20多款微納器件應用于我國系列重大工程。
近10多年來,向國內(nèi)外高等院校、科研機構和高新企業(yè)共計1000多家客戶交付了6萬多塊元器件,為國產(chǎn)高端裝備研發(fā)與驗證提供了實驗平臺和工藝解決方案。獲國家技術發(fā)明獎二等獎2項,省部級獎5項。授權國際及國內(nèi)專利116項,主要專利和技術許可/轉移到國內(nèi)集成電路龍頭企業(yè),培養(yǎng)碩士博士29名。
站在新的發(fā)展階段與征程的起點上,微電子研究所微納器件制造技術團隊將矢志不渝地秉承“惟精惟一、求是求新”的工作作風,深入詮釋新時代微納加工工匠精神的內(nèi)涵,持之以恒地支撐我國系列重大工程的順利實施,為我國搶占微納器件科技制高點做出持久、系統(tǒng)且不可替代的貢獻。
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